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技術文章 / ARTICLE
參考距離:3mm |
測量范圍:±0.75mm |
光斑直徑:Φ17μm |
測量角度:±12° |
靜態噪聲*2:150nm |
線性誤差:<±0.75μm |
橫向分辨率:8.5μm |
外徑*長度:φ3.8*85mm |
重量:約20g |
最小可測厚度:10% of F.S. |
溫度特征:<0.03% of F.S./℃ |
防護等級:IP40 |
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