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技術文章 / ARTICLE
參考距離:10mm |
測量范圍:±0.2mm |
光斑直徑:Φ7μm |
測量角度:±45° |
靜態噪聲*2:20nm |
線性誤差:<±0.12μm |
橫向分辨率:3.5μm |
外徑*長度:φ40*99.4mm |
重量:186g |
最小可測厚度:5% of F.S. |
溫度特征:<0.03% of F.S./℃ |
防護等級:IP40 |
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