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技術文章 / ARTICLE
參考距離:20mm |
測量范圍:±0.6mm |
光斑直徑:Φ9.5μm |
測量角度:±33° |
靜態噪聲*2:50nm |
線性誤差:<±0.3μm |
橫向分辨率:4.75μm |
外徑*長度:φ36*107mm |
重量:182g |
最小可測厚度:5% of F.S. |
溫度特征:<0.03% of F.S./℃ |
防護等級:IP40 |
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