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技術文章 / ARTICLE
參考距離:7mm |
測量范圍:±1.5mm |
光斑直徑:Φ26μm |
測量角度:±10° |
靜態噪聲*2:240nm |
線性誤差:<±0.6μm |
橫向分辨率:13μm |
外徑*長度:φ8*38.7mm |
重量:10g |
最小可測厚度:10% of F.S. |
溫度特征:<0.03% of F.S./℃ |
防護等級:IP40 |
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